La tecnica sperimentale che si basa sulla Molecular Beam Epitaxy (crescita epitassiale di fasci molecolari), necessita di un apparato strumentale composto da (da sinistra verso destra, e dall'alto verso il basso, nell'immagine):

• celle effusive
• schermo fosforescente per raccogliere gli elettroni del RHEED
• dispositivo per la rotazione del campione durante la crescita
• binario per il trasferimento del campione dalla camera di preparazione a quella di crescita