Nell'immagine si distinguono due parti diverse:

• lo schermo fosforescente dove arrivano gli elettroni, prodotti dal cannone elettronico del RHEED (Reflection High Electron Energy Diffraction) diffratti dal substrato;
• il manipolatore, nell'immagine a destra, che svolge due compiti:
  1. riscaldare il substrato per ultimarne la preparazione e durante la crescita
  2. far ruotare il substrato durante la crescita epitassiale