Parte integrante dell'apparato strumentale di una camera per MBE è il RHEED (Diffrazione per riflessione di elettroni ad alta energia).

Consiste in un cannone elettronico (nell'immagine), uno schermo fosforescente e un sistema di acquisizione/lettura delle immagini.

Essendo una tecnica sensibile per l'analisi delle superfici permette di:

• Valutare lo stato di pulizia e preparazione del substrato;
• monitorare i processi di crescita epitassiale strato per strato;
• monitorare le variazioni superficiali al cambiamento nelle condizioni di deposizione.

Per evitare che il fascio di elettroni interagisca troppo con la superficie e con i gas residui della camera si preferisce non usare la tecnica per più di cinque minuti.