Il campione

La preparazione del campione (il substrato) che si vuol sottoporre a crescita epitassiale è fondamentale nell'iter dell'esperimento.

• I fase: Pulizia ex-situ:

  Prima di essere inserito nella camera di crescita il campione:

  1. viene trattato in alcune soluzioni chimiche per la rimozione dei difetti superficiali;
  2. sulla superficie viene prodotta un sottile strato di diossido protettivo;
  3. viene montato su di un supporto, generalmente di Molibdeno, chiamato il Moly-block.

• II fase: Pulizia in-situ:

  Una volta che il campione viene inserito nella camera di crescita:

  1. la protezione superficiale viene rimossa per desorbimento, aumentando la temperatura del substrato.

Ex-situ e in-situ stanno ad indicare il luogo dove il campione viene preparato, se esternamente o internamete all'apparato sperimentale.
Nella preparazione dei materiali questa non è l'unica modalità , ma risulta tra le più efficaci al fine della crescita epitassiale.