La preparazione del
campione

Il campione


Il campione

(Tour virtuale dell'apparato
sperimentale)

La preparazione del campione (il substrato) che si vuol sottoporre a crescita epitassiale è fondamentale nell'iter dell'esperimento.


La preparazione consiste nella pulizia della superficie da eventuali contaminazioni e impurezze.

Generalmente vengono seguite due fasi:


  • I fase: Pulizia ex-situ:

    Prima di essere inserito nella camera di crescita il campione:

    1. viene trattato in alcune soluzioni chimiche per la rimozione dei difetti superficiali;
    2. sulla superficie viene prodotta un sottile strato di diossido protettivo;
    3. viene montato su di un supporto, generalmente di Molibdeno, chiamato il Moly-block.


  • II fase: Pulizia in-situ:

    Una volta che il campione viene inserito nella camera di crescita:

    1. la protezione superficiale viene rimossa per desorbimento, aumentando la temperatura del substrato.


Ex-situ e in-situ stanno ad indicare il luogo dove il campione viene preparato, se esternamente o internamete all'apparato sperimentale.
Nella preparazione dei materiali questa non è l'unica modalità , ma risulta tra le più efficaci al fine della crescita epitassiale.