Introduzione

Lo sviluppo della tecnica sperimentale di crescita epitassiale ha richiesto, nel corso degli anni, di rispondere in modo sempre più adeguato all'esigenza di controllare e monitorare l'intero processo all'interno della camera di crescita.

Se in un primo momento l'attenzione era soprattutto rivolta alla comprensione del fenomeno stesso di crescita, utilizzando le tecniche di analisi superficiale durante la deposizione, negli ultimi anni con l'aumento della richiesta di fabbricazione di dispositivi altamente tecnologici sono diventati parte integrante dell'apparato anche il RHEED (Reflection High Energy Electron Diffraction), il barometro ionico, e lo spettrometro di massa.

Questi strumenti sono necessari per l'analisi in situ del campione, cioè per il controllo dei parametri, che garantiscono un certo tipo di crescita, e delle caratteristiche del materiale in fase di realizzazione.

Nel Laboratorio c'è anche la possibilità di analizzare il materiale e di determinarne le proprietà ex situ, all'esterno della camera di crescita, grazie alla presenza dell'XPS (X-rays Photoemission Spectroscopy).

Segui i link ipertestuali della pagina per vedere nel dettaglio l'apparato strumentale .