All'interno della camera di crescita, l'intera area dove ha luogo il processo di deposizione è racchiusa da pannelli di separazione raffreddati ad azoto liquido, chiamati anche criopannelli (dal greco, crio che significa "freddo").

Il serbatoio di azoto liquido dell'immagine viene riempito periodicamente attingendo ad un grande serbatoio esterno, e garantisce un flusso continuo di liquido refrigerante nei criopannelli.