Tra gli strumenti utilizzati per la preparazione della camera di crescita, rientra anche lo spettrometro di massa.

Il suo funzionamento si basa sul confronto delle frazioni di diversa massa/carica di atomi o molecole ionizzate per separarle le une dalle altre.

Viene utilizzato come strumento di controllo per:

• il monitoraggio dei gas residui presenti nella camera
• l'analisi delle sorgenti dei fasci
• il controllo di eventuali falli nel mantenimento del vuoto all'interno della camera