Epitassiale

Per epitassiale si intende il processo di crescita di uno strato atomico su un substrato di materiale, in cui la struttura del materiale cresciuto dipende da quella del substrato in cui la crescita è "ordinata" dal substrato; diverso dalla deposizione ; la crescita dipende strettamente da:

• parametri caratterizzanti il substrato (orientazione, temperatura ...)
• parametri caratterizzanti il materiale da deporre (velocità di deposizione, modo di crescita ...)